Phát hiện vị trí rãnh vòng đệm

Position detection of wafer notches

Hệ thống quan sát bằng hình ảnh phát hiện vị trí quay của rãnh vòng đệm.

Độ phân giải camera 5 Mega pixel và thuật toán tích hợp của công cụ Trend Edge Stain (Biến đổi màu mép gờ dáng điệu) giúp có thể phát hiện ổn định rãnh cũng như xuất dữ liệu vị trí và kích thước.

Lợi ích

Camera 2 Mega-pixel được sử dụng để phát hiện vị trí của rãnh, nhưng khả năng lặp lại của camera không ổn định. Bằng cách thực hiện hệ thống Sê-ri XG, camera tốc độ cao 5 Mega pixel và công cụ Trend Edge Stain (Biến đổi màu mép gờ dáng điệu) mới, rãnh đã được ổn định vị trí.

Hệ thống kiểm tra bằng hình ảnh trực quan