Đo kích thước và kiểm tra ngoại quan của phôi tấm

Đo chiều rộng, độ dày và độ cong vênh của phôi tấm, đồng thời cũng đo độ phẳng của tấm. Laser màu xanh dương cho phép phát hiện ổn định các mục tiêu nóng đỏ vốn rất khó đo bằng laser màu đỏ thông thường. Kiểm tra ngoại quan cũng có thể được thực hiện cùng lúc. Ngoài ra, các phép đo có thể được thực hiện ngay cả trong điều kiện nhiệt độ cao thông qua việc sử dụng hệ thống làm mát bằng nước