Căn chỉnh đĩa bán dẫn (wafer)

Trong khi các hệ thống thông thường cần chụp những ảnh riêng biệt để đảm bảo độ phân giải cao, thì chụp ảnh vùng rộng cho phép chụp toàn bộ trường quan sát trong một lần chụp giúp cải thiện thời gian xử lý.