Thông số kỹ thuật Cảm biến đo dịch chuyển đồng tụ Sê-ri CL-3000

Đầu cảm biến và bộ quang học - Loại 4 kênh

Mẫu

CL-L007N

CL-L015N

CL-L030N

CL-L070N

CL-L150N

hình ảnh

Loại

Bộ quang học

Đầu

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

CL-L150 *1

Khoảng cách tham chiếu

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

Phạm vi đo tham chiếu

Phạm vi đo

±1,5 mm

±1,3 mm

±3,7 mm

±10 mm

±35 mm

Độ tuyến tính

±2,1 μm *2

±0,49 μm *2

±0,94 μm *2

±2,2 μm *2

±5,65 μm *2

Phạm vi đo với độ chính xác cao

Phạm vi đo

±0,5 mm

±1,0 mm

±3,0 mm

±15 mm

Độ tuyến tính

±0,91 μm *2

±0,41 μm *2

±0,72 μm *2

±2,0 μm *2

±4,65 μm *2

Độ phân giải

0,25 μm *3

Đường kính vệt

ø750 μm

ø300 μm

ø500 μm

ø600 μm

ø1000 μm

Loại laser

Bộ quang học

Loại 1

Chu kỳ lấy mẫu

100/200/500/1000 μs (4 giai đoạn có thể điều chỉnh)

Khả năng chống chịu với môi trường

Chỉ số chống chịu thời tiết cho vỏ bọc

Đầu

IP67 (IEC60529)

Ánh sáng môi trường xung quanh

Chiếu sáng bề mặt mục tiêu: 30000 lux (Đèn bóng tròn)

Nhiệt độ môi trường xung quanh

0 đến 50°C

Độ ẩm môi trường xung quanh

85% RH trở xuống (không ngưng tụ)

Chống chịu rung

Đầu

10 đến 57 Hz, biên độ kép 1,5 mm; 2 tiếng cho mỗi trục X, Y, và Z

Bộ quang học

10 đến 57 Hz, biên độ kép 0,3 mm; 2 tiếng cho mỗi trục X, Y, và Z

Chống chịu va đập

15 G, 6 ms

Đặc tính nhiệt độ

Đầu

0,005% F.S./°C

Bộ quang học

0,015% F.S./°C

Vật liệu

Đầu

SUS

Mặt trước: SUS, Phía sau: Nhôm

Bộ quang học

Polycarbonate

Khối lượng

Đầu

Xấp xỉ 140 g

Xấp xỉ 180 g

Xấp xỉ 200 g

Xấp xỉ 280 g

Xấp xỉ 380 g

Bộ quang học

Xấp xỉ 1600 g

*1 Đầu cảm biến và bộ quang học phải tương thích. Không tương thích chéo.
*2 Giá trị được đo ở chế độ dịch chuyển với vật mẫu chuẩn của KEYENCE (bề mặt gương).
*3 Giá trị được đo bằng 16.384 chu kỳ trung bình với vật mẫu chuẩn của KEYENCE (bề mặt gương).

Các trang chính

Đầu cảm biến và bộ quang học - Loại điểm đơn

Mẫu

CL-P007N

CL-P015N

CL-P030N

CL-P070N

CL-P150N

hình ảnh

Loại

Bộ quang học

Đầu

CL-P007 *1

CL-P015 *1

CL-P030 *1

CL-P070 *1

CL-P150 *1

Khoảng cách tham chiếu

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

150 mm

Phạm vi đo tham chiếu

Phạm vi đo

±1,5 mm

±1,3 mm

±3,7 mm

±10 mm

±35 mm

Độ tuyến tính

±0,96 μm *2

±0,49 μm *2

±0,94 μm *2

±2,2 μm *2

±5,65 μm *2

Phạm vi đo với độ chính xác cao

Phạm vi đo

±0,5 mm

±1,0 mm

±3,0 mm

±15 mm

Độ tuyến tính

±0,55 μm *2

±0,41 μm *2

±0,72 μm *2

±2,0 μm *2

±4,65 μm *2

Độ phân giải

0,25 μm

Đường kính vệt

ø50 μm

ø25 μm

ø38 μm

ø50 μm

ø75 μm

Loại laser

Bộ quang học

Loại 1

Chu kỳ lấy mẫu

100/200/500/1000 μs (4 giai đoạn có thể điều chỉnh)

Khả năng chống chịu với môi trường

Chỉ số chống chịu thời tiết cho vỏ bọc

Đầu

IP67 (IEC60529)

Ánh sáng môi trường xung quanh

Chiếu sáng bề mặt mục tiêu: 30000 lux (Đèn bóng tròn)

Nhiệt độ môi trường xung quanh

0 đến 50°C

Độ ẩm môi trường xung quanh

85% RH trở xuống (không ngưng tụ)

Chống chịu rung

Đầu

10 đến 57 Hz, biên độ kép 1,5 mm; 2 tiếng cho mỗi trục X, Y, và Z

Bộ quang học

10 đến 57 Hz, biên độ kép 0,3 mm; 2 tiếng cho mỗi trục X, Y, và Z

Chống chịu va đập

15 G, 6 ms

Đặc tính nhiệt độ

Đầu

0,005% F.S./°C

Bộ quang học

0,015% F.S./°C

Vật liệu

Đầu

SUS

Mặt trước: SUS, Phía sau: Nhôm

Bộ quang học

Polycarbonate

Khối lượng

Đầu

Xấp xỉ 140 g

Xấp xỉ 180 g

Xấp xỉ 200 g

Xấp xỉ 280 g

Xấp xỉ 380 g

Bộ quang học

Xấp xỉ 1600 g

*1 Đầu cảm biến và bộ quang học phải tương thích. Không tương thích chéo.
*2 Giá trị được đo ở chế độ dịch chuyển với vật mẫu chuẩn của KEYENCE (bề mặt gương).

Các trang chính

Mẫu

CL-S015N

CL-V020N

CL-V050N

CL-PT010N

hình ảnh

Loại

Bộ quang học

Đầu

CL-S015 *1

CL-V020 *1

CL-V050 *1

CL-PT010 *1

Khoảng cách tham chiếu

15 mm

20 mm

50 mm

10 mm

Phạm vi đo tham chiếu

Phạm vi đo

±1,0 mm

±1,3 mm

±4 mm

±0,3 mm

Độ tuyến tính

±0,35 μm *2

±0,45 μm *2

±1,4 μm *2

±0,22 μm *2

Phạm vi đo với độ chính xác cao

Phạm vi đo

-0,2 mm/-1,0 mm

±0,5 mm

±1,6 mm

±0,15 mm

Độ tuyến tính

±0,25 μm *2

±0,38 μm *2

±1,3 μm *2

±0,2 μm *2

Độ phân giải

0,25 μm *3

Đường kính vệt

ø10 μm

ø20 μm

ø40 μm

ø3,5 μm

Loại laser

Bộ quang học

Loại 1

Chu kỳ lấy mẫu

100/200/500/1000 μs (4 giai đoạn có thể điều chỉnh)

Khả năng chống chịu với môi trường

Chỉ số chống chịu thời tiết cho vỏ bọc

Đầu

IP50

Cấu trúc khử khí IP40 dành cho môi trường chân không *5

IP64 (IEC60529)

Ánh sáng môi trường xung quanh

Chiếu sáng bề mặt mục tiêu: 30000 lux (Đèn bóng tròn)

Nhiệt độ môi trường vận hành xung quanh

Đầu

-20 đến 70°C

-20 đến 200°C

0 đến 50°C

Bộ quang học

0 đến 50°C

Độ ẩm môi trường xung quanh

85% RH trở xuống (không ngưng tụ)

Chống chịu rung

Đầu

10 đến 57 Hz, biên độ kép 1,5 mm; 2 tiếng cho mỗi trục X, Y, và Z

10 đến 57 Hz, biên độ kép 0,45 mm 2 tiếng cho mỗi trục X, Y, và Z

Bộ quang học

10 đến 57 Hz, biên độ kép 0,3 mm; 2 tiếng cho mỗi trục X, Y, và Z

Chống chịu va đập

15 G, 6 ms

Chân không

Môi trường chân không

Môi trường chân không cực cao *6

Không có

Đặc tính nhiệt độ

Đầu

0,005% F.S./°C *4

0,013% F.S./°C *4

0,015% F.S./°C *4

0,1% F.S./°C *4

Bộ quang học

0,015% F.S./°C

Vật liệu

Đầu

SUS303/304

SUS304

Mặt trước: SUS, Phía sau: Nhôm

Bộ quang học

Polycarbonate

Khối lượng

Đầu

Xấp xỉ 350 g

Xấp xỉ 100 g

Xấp xỉ 1100 g

Bộ quang học

Xấp xỉ 1600 g

*1 Đầu cảm biến và bộ quang học phải tương thích. Không tương thích chéo.
*2 Giá trị được đo ở chế độ dịch chuyển với vật mẫu chuẩn của KEYENCE (bề mặt gương).
*3 Giá trị được đo bằng 16.384 chu kỳ trung bình với vật mẫu chuẩn của KEYENCE (bề mặt gương).
*4 Những con số này được tính toán trong trường hợp có một gá lắp làm từ SUS303 (hoặc SUS304) được lắp cố định giữa đầu cảm biến và vật cần đo.
*5 Chỉ số chống chịu thời tiết cho vỏ bọc tương đương IP50 khi dán miếng dán kèm theo.
*6 Chúng tôi đã xác minh hoạt động của thiết bị trong môi trường chân không ở mức 10^-6 Pa.

Các trang chính