Thiết bị đo biên dạng quang học 3D Đầu đo (Model hoàn toàn tự động) VR-6200

Mẫu

VR-6200

Loại

Đầu đo

Bộ điều khiển

VR-6000

Trường quan sát

Độ phóng đại thấp (trường quan sát rộng)

Độ phóng đại trên màn hình 15" 12×

Hướng ngang

24,0 mm

Hướng dọc

18,0 mm

Độ phóng đại trên màn hình 15" 25×

Hướng ngang

12,0 mm

Hướng dọc

9,0 mm

Độ phóng đại trên màn hình 15" 38×

Hướng ngang

8,0 mm

Hướng dọc

6,0 mm

Độ phóng đại trên màn hình 15" 50×

Hướng ngang

Hướng dọc

4,5 mm

Độ phóng đại cao (độ phân giải cao)

Độ phóng đại trên màn hình 15" 40×

Hướng ngang

7,6 mm

Hướng dọc

5,7 mm

Độ phóng đại trên màn hình 15" 80×

Hướng ngang

3,8 mm

Hướng dọc

2,9 mm

Độ phóng đại trên màn hình 15" 120×

Hướng ngang

2,5 mm

Hướng dọc

1,9 mm

Độ phóng đại trên màn hình 15" 160×

Hướng ngang

Hướng dọc

1,4 mm

Thu phóng

1× đến 4×

Đo chiều cao

Độ phân giải hiển thị

0,1 µm

Phạm vi phép đo chiều cao

Không có liên kết Z

Độ phóng đại thấp (trường quan sát rộng) : 10 mm
Độ phóng đại cao (độ phân giải cao) : 1 mm

Có liên kết Z

Độ phóng đại thấp (trường quan sát rộng) : 50 mm
Độ phóng đại cao (độ phân giải cao) : 30 mm

Khả năng lặp lại (σ)

Không có liên kết Z

0,4 µm ^*1

Có liên kết Z

1,0 µm ^*1

Độ chính xác của phép đo

Không có liên kết Z

±2,5 µm ^*1

Có liên kết Z

±4,0 µm ^*1

Đo chiều rộng

Khả năng lặp lại (σ)

Độ phóng đại thấp (trường quan sát rộng): 1 µm
Độ phóng đại cao (độ phân giải cao): 0,5 µm
^*1

Độ chính xác của phép đo

Độ phóng đại thấp (trường quan sát rộng): ±5 µm
Độ phóng đại cao (độ phân giải cao): ±2 µm
^*1

Chức năng liên kết

Phép đo hoàn toàn tự động (điều khiển tự động XY + điều khiển tự động Z, điều khiển tự động θ), Tạo ánh xạ tự động, Cài đặt vùng tự động^*2

Chức năng liên kết

Bộ phận xoay có gắn động cơ

Được hỗ trợ ^*2

Phạm vi có thể đo XY

300 × 150 mm ^*2

Đế

Hành trình XY

278 × 134 mm (có động cơ)

Hành trình Z

69 mm (có động cơ)

Khả năng chịu tải

4,5 kg

Khoảng cách làm việc

75 mm

Yếu tố nhận ảnh

CMOS đơn sắc 4 megapixel

Ống kính thiết bị phát

Ống kính viễn tâm kép × 2

Ống kính thiết bị nhận

Ống kính viễn tâm kép

Nguồn sáng

Nguồn sáng quan sát

Đèn vòng LED (đỏ, xanh lam, xanh lục)

Nguồn sáng đo

Đèn LED màu trắng

Xử lý dữ liệu

Máy tính cá nhân chuyên dụng do KEYENCE quy định (Hệ điều hành: Windows 10 Pro)

Nguồn điện cung cấp

Điện áp nguồn

100 đến 240 VAC ±10%, 50/60 Hz

Công suất tiêu thụ

Tối đa 200 VA

Khả năng chống chịu với môi trường

Nhiệt độ môi trường xung quanh

+15 đến 30°C

Độ ẩm môi trường xung quanh

20 tới 80% RH (không ngưng tụ)

Khối lượng

Xấp xỉ 28 kg ^*3