Đầu đo VK-X3050

VK-X3050 - Đầu đo

*Xin lưu ý rằng các phụ kiện mô tả trong hình ảnh chỉ nhằm mục đích minh họa và có thể không đi kèm với sản phẩm.

Thông số kỹ thuật

Mẫu		VK-X3050
Loại		Đầu đo
Tổng độ phóng đại		42× đến 28800× ^*1
Trường quan sát		11 đến 7398 μm
Nguyên lý đo		Đồng tiêu laser, Biến thiên tiêu điểm, Giao thoa ánh sáng trắng, Giao thoa phổ
Chiều dài bước sóng laser		Laser bán dẫn, 661 nm
Tốc độ đo laser tối đa		Bề mặt: 125 Hz, Đường thẳng: 7900 Hz ^*2
Công suất laser tối đa		1,0 mW
Loại laser		Loại 2 (IEC60825-1)
Yếu tố nhận ánh sáng laser		Ống nhân quang 16-bit
Nguồn sáng trắng		LED trắng
Yếu tố nhận ánh sáng trắng		CMOS màu độ nét cao
Đồng tiêu laser	Độ phân giải màn hình chiều cao	1 nm
	Khả năng lặp lại chiều cao σ	10×: 100 nm, 20×: 40 nm, 50×: 20 nm
	Độ chính xác chiều cao	Từ 0,2 + L/100 μm trở xuống ^*3
	Độ phân giải màn hình chiều rộng	1 nm
	Khả năng lặp lại chiều rộng 3σ	10×: 400 nm, 20×: 100 nm, 50×: 50 nm
	Độ chính xác chiều rộng	Giá trị đo được từ ±2% trở xuống ^*3
Biến thiên tiêu điểm	Độ phân giải màn hình chiều cao	1 nm
	Khả năng lặp lại chiều cao σ	5×: 500 nm, 10×: 100 nm, 20×: 50 nm, 50×: 30 nm
	Độ chính xác chiều cao	Từ 0,2 + L/100 μm trở xuống ^*3
	Độ phân giải màn hình chiều rộng	1 nm
	Khả năng lặp lại chiều rộng 3σ	5×: 400 nm, 10×: 400 nm, 20×: 120 nm, 50×: 65 nm
	Độ chính xác chiều rộng	Giá trị đo được từ ±2% trở xuống ^*3
Giao thoa ánh sáng trắng	Độ phân giải màn hình chiều cao	0,01 nm
	Độ phân giải màn hình chiều rộng	0,1 nm
	Khả năng lặp lại địa hình bề mặt	0,08 nm ^*4
	Khả năng lặp lại của RMS	0,008 nm ^*4
Đo độ dày màng bằng giao thoa phổ	Khả năng lặp lại σ	0,1 nm ^*4
	Độ chính xác	±0,6% ^*4
Quan sát quang học	Số lượng dấu chấm	5,6 triệu
	Ổ quay	Ổ quay điện tử 6 lỗ
	Ống kính chiếu sáng vòng	2,5×, 5×, 10×
	Thu phóng quang học	1 đến 8×
Cấu hình bàn soi XY	Phạm vi vận hành thủ công	70 mm × 70 mm
	Phạm vi vận hành có gắn động cơ	100 mm × 100 mm
Nguồn điện cung cấp	Điện áp nguồn	100 đến 240 VAC, 50/60 Hz
	Công suất tiêu thụ	150 VA
Khả năng chống chịu với môi trường	Nhiệt độ môi trường xung quanh	+15 đến 28°C
	Độ ẩm môi trường xung quanh	20 đến 80% RH (Không ngưng tụ)
Khối lượng		Xấp xỉ 13 kg
^1 Khi sử dụng màn hình hiển thị toàn màn hình 23 inch. ^2 Ở tốc độ tối đa khi sử dụng kết hợp chế độ đo/chất lượng đo/độ phóng đại ống kính. Khi bước đo quét đường nằm trong phạm vi 0,1 μm. ^3 Khi đo mẫu chuẩn bằng ống kính 20× trở lên. ^4 Các giá trị điển hình trong môi trường đo mặc định.

Dữ liệu kỹ thuật (PDF) Các mẫu khác