Phát hiện tiết diện sai trên thành phần quang
Đo mục tiêu trong suốt hoặc mờ đục trên những hình dạng khó
Đồng hồ đo độ dịch chuyển laser quét bề mặt. Quét trục Z để đạt độ chính xác và độ phân giải. Quét trục X để đạt độ ổn định. Mục tiêu trong suốt không còn là vấn đề khó khăn nữa.