Phương pháp quét ba nguyên lý cho phép đo bất kỳ mục tiêu nào

Có thể đo lường độ chính xác cao cho mọi mục tiêu thông qua việc sử dụng ba nguyên lý đo lường khác nhau: đồng tiêu laser, giao thoa ánh sáng trắng và biến thiên tiêu điểm.

Giao thoa ánh sáng trắng
Đồng tiêu laser
Biến thiên tiêu điểm

Độ phân giải 0,01 nm tốt nhất trong phân khúc

Đo lường chính xác những thay đổi nhỏ về hình dạng ở cấp độ nano.
Ngay cả những vật liệu khó đo như bề mặt trong suốt hoặc phản xạ gương cũng có thể đo được.

Độ phân giải nanomet trên toàn bộ mục tiêu

Có thể quét các vùng lên đến 50 × 50 mm, do đó toàn bộ bề mặt của mẫu có thể được đo và phân tích.

Đo cả bề mặt phẳng và bề mặt không bằng phẳng

Các phép đo milimet, micromet và nanomet trong cùng một thiết bị.

Tham khảo Catalogue để biết thêm chi tiết

Bạn cũng có thể liên hệ với chúng tôi tại: +84-24-3772-5555