Phương pháp phản chiếu nhiễu quang phổ
Sê-ri SI

Sê-ri SI

Để đo độ cong vênh, dụng cụ đo lường thực hiện theo phương pháp nhiễu quang phổ sẽ được sử dụng để phát hiện tại ba điểm. Giá trị đo được của mỗi điểm sau đó được gửi đến một bộ điều khiển, nơi mà các tính toán được thực hiện để trả lại phép đo.

Ưu điểm lựa chọn

  • Độ chính xác cực cao với độ phân giải 1nm
  • Không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ môi trường xung quanh
Sê-ri SI-F
Cảm biến phát hiện dịch chuyển bằng laser nhiễu quang phổ
Sê-ri SI-F