Mục tiêu trong suốt

Thể hiện kết quả đo bề mặt trong suốt/gương

LOẠI PHẢN XẠ GƯƠNG

Sê-ri LK-G5000 bao gồm một nhóm các đầu được thiết kế đặc biệt để sử dụng trên các mục tiêu phản xạ cao, chẳng hạn như thủy tinh hoặc các bề mặt gương khác. Các đầu này có sẵn trên thị trường với các vệt tia rộng hoặc hội tụ và thích hợp lý tưởng cho các phép đo cần độ chính xác cao trên các bề mặt phản xạ.

ĐƯỜNG KÍNH VỆT (LOẠI RỘNG)

ĐƯỜNG KÍNH VỆT (LOẠI VỆT)

Đo kẽ hở của bảng điều khiển chạm

Tối ưu hóa hệ thống quang học trong những đầu cảm biến chuyên dụng này để đạt được độ phân giải tối đa trên các mục tiêu gương cao. Bằng cách cải thiện chức năng của các yếu tố nhận, giờ đây đã có thể đo ổn định các kẽ hở 20 μm.

Mục tiêu thô

Đo ổn định trên các mục tiêu thô

LOẠI VỆT RỘNG

Bề mặt phẳng, khi được phóng đại thường có chỗ lồi và lõm nhỏ. Độ nhám bề mặt kính hiển vi này có thể gây ra sai số phép đo với cảm biến vệt hội tụ thông thường. Bằng cách sử dụng đầu cảm biến với vệt tia rộng, ảnh hưởng của bề mặt không bằng phẳng sẽ được cân bằng và có thể đo ổn định ngay cả với mục tiêu thô.

ĐƯỜNG KÍNH VỆT

Đo bề mặt kim loại

Mục tiêu mịn

Tối ưu cho phép đo mịn và tiết diện

LOẠI VỆT HỘI TỤ

Đường kính vệt nhỏ nhất so với sản phẩm trong cùng loại với ø25 μm (LK-H022) có thể đo được mục tiêu bất kỳ, từ phép đo các thành phần chi tiết đến phép đo mặt chiếu với độ chính xác vào loại cao nhất trong ngành công nghiệp.

ĐƯỜNG KÍNH VỆT

Đo chiều cao chân IC

Nhờ công nghệ cắt delta, giúp giảm thiểu sự ảnh hưởng của độ biến dạng gây ra do bộ lọc quang. Cải tiến này và những cải tiến khác trong hệ thống quang học không chỉ mang ý nghĩ vệt tia được hội tụ trong RS-CMOS, mà còn được hội tụ chính xác vào khu vực mục tiêu. Điều này cho phép đo tiết diện với độ chính xác cao mà trước đây vốn không thể thực hiện được.